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特征

軟硬件垂直整合優(yōu)勢，并且采用高精密，高剛性直驅(qū)馬達(dá)，重復(fù)精度達(dá)±0.1mm，回轉(zhuǎn)半徑小，空間使用率高。


應(yīng)用

適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)(晶圓取放)、光電產(chǎn)業(yè)(小型面板、小型太陽能板)、LED產(chǎn)業(yè)(藍(lán)寶石基板、膠環(huán))等取放設(shè)備。


晶圓機(jī)器人

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